Matheson Tri-Gas通过引入这种特氟龙介质过滤器提供了一种高效的解决方案，通过高性能膜气体过滤器实现对气体流的0.01微米级过滤效率。该过滤器可以安装在由气瓶、散装源或现场发生装置提供的非腐蚀性气体流中。将膜过滤器安装在反应腔附近，本身就是消除可能释放到气体流中的颗粒物的最佳保护措施。

设计特点

• 多孔特氟龙滤芯。
• 与非腐蚀性半导体气体具有出色的兼容性
• 全焊接316L不锈钢结构，确保纯度
• 标准型号提供面密封或压缩连接
• 聚四氟乙烯特氟龙膜；0.2微米孔径
• 过滤效率达100%至0.01微米
• 大表面积，使用寿命长，流量均匀

建筑材料

• 机芯：316不锈钢
• 膜片：聚四氟乙烯支撑，由聚丙烯端盖密封
• 密封：聚四氟乙烯包覆的硅胶O形环

规格

• 最大工作压力：1000 磅/平方英寸
• 温度等级：最高 100ºF (38ºC)
• 最大流量：250 标准升/分钟（压力差 15 psi）
• 孔径：0.2 微米
• 过滤等级：在 0.01 微米级别上 100% 效率
• 有效过滤面积：0.5 立方英尺
• 运输重量：2 磅

源自:MATHESON，图文仅供参考。

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